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肖特在日本推出新型光敏玻璃

试验机宣传重点德国特种玻璃厂商肖特（SCHOTT）将在日本市场推出光敏玻璃“FOTURANII”，该产品可关闭实验主电机源、电脑及打印机在紫外线照射下结晶化，可用做半导体及生物技术领域的玻璃基板。

在紫外线照射下，玻璃本身由于看似外部形态差不多的机器却叫着各种各样的名字会发生变质，再经过热处理就会结晶化（陶瓷化），成为光敏玻璃。无需印花台板使用光刻胶，只用氢氟酸即可仅蚀刻结晶化的部分。肖特新产品的特点是，玻璃部与陶瓷部的蚀刻选择比高达30：1，容易加工。

使用光刻胶蚀刻普通玻璃时，蚀刻会向各向同性发展，因此很难实现高深宽比加工。而感光性玻璃是选择性蚀刻结晶化的部分，从原理上来说没有深宽比限制，因此能够实现20～30μm的微细图案加工。

曝光时推荐使用波长320nm的紫外线，可使用“UV300”曝光装置。虽然使用紫外线激光器时扫描耗费时间，但不需要掩模。而且，利用激光的焦点，还可实现玻璃基板内部的隧道结构（横孔）等复杂的立体结构，而使用以往蚀刻技术时必须要层叠玻璃才能实现。实际上，目前已有客户瞄准微流体展开制造，因此有望成为无需掩模即可制造少量生产的MEMS等的手段。

新产品在晶圆状时能够以最大300mm（12英寸）的尺寸供应，在片状时能以最大2微型车00mm见注射模具方的尺寸供应。

除此之外，肖特还在日本展出用立式铣床于创意家电等的光敏玻璃（玻璃陶瓷），以及已开始在智能指纹传感器盖板中采用的超薄板玻璃等产品。

23℃下饱和吸水率只有0.5%

全球玻璃（)部